改进型三氯氢硅合成工艺初探

作     者：丁国江 

作者机构：峨嵋半导体材料厂所峨眉山市614200 

出 版 物：《四川有色金属》 (Sichuan Nonferrous Metals)

年 卷 期：1998年第4期

页      码：10-12页

摘      要：传统的三氯氢硅合成方法是将氯化氢和硅粉在沸腾炉中反应.此法中,约有15～20%的副产物四氯化硅产生,存在原料消耗高,产品成本高.新工艺应用化学平衡的原理,适当加入部分的四氯化硅,可抑制四氯化硅生成,吸收氯化氢中的微量水份,从而提高三氯氢硅的转化率,降低硅粉单耗,减少设备腐蚀,提高设备寿命.本文主要对改进型工艺进行初步设计探讨,分析传统工艺之不足,以期能对现有生产和技术改造工作有所指导.

主 题 词：三氯氢硅 合成 工艺设计 多晶硅 四氯化硅 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

馆 藏 号：203841164...