MEMS版图绘制方法的研究

作     者：庄须叶 吕东锋 陈博 王文婧 王鹏 

作者机构：北方通用电子集团有限公司微电子部蚌埠233042 

出 版 物：《集成电路通讯》 

年 卷 期：2013年第31卷第3期

页      码：34-37页

摘      要：结合复杂结构MEMS版图绘制中的曲面构型，对L—Edit、Covenr、AumCAD多软件联合MEMS版图绘制方法进行了研究。通过设计图形多格式转换的整合重构，完成了角构型曲面结构版图的设计，满足了直接进行工艺仿真的要求，提高了MEMS器件的设计水平和产品研发效率。

主 题 词：L—Edit Coventor Auto CAD MEMS版图 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 

馆 藏 号：203842899...