基于低温共烧陶瓷的无线无源传感器设计

作     者：杨明亮 谭秋林 熊继军 康昊 李晨 YANG Ming-liang;TAN Qiu-lin;XIONG Ji-jun;KANG Hao;LI Chen

作者机构：中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室山西太原030051 

基　　金：国家"973"计划前期资助项目(2010CB334700) 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2014年第33卷第5期

页      码：69-72页

摘      要：设计一种基于低温共烧陶瓷(LTCC)的无线无源压力传感器。电感器和电容器并联组成的LC谐振回路构成传感器的工作电路,采用厚膜工艺完成了平面螺旋电感器和平行板电容器的制备。传感器利用LC谐振回路的谐振频率对不同压力的响应来表征传感器的应变特性,采用2个电感耦合的方式来实现无线检测。测试结果显示:传感器的谐振频率随外加压力的增大而减小,其谐振频率变化对压力的响应灵敏度约为331.70 kHz/bar。

主 题 词：低温共烧陶瓷 无线无源 无线检测 平面螺旋电感 平行板电容器 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2014.05.021

馆 藏 号：203843081...