非平衡磁控系统的“遮以阴影”问题的研究

作     者：何万强 雷旭 

作者机构：西安工业学院科研处陕西西安710032 

出 版 物：《纺织高校基础科学学报》 (Basic Sciences Journal of Textile Universities)

年 卷 期：2002年第15卷第1期

页      码：27-30页

摘      要：鉴于真空镀膜机中 ,非平衡磁场控制溅射系统的“遮以阴影”弊端 ,提出一种对该系统加以完善的原理和设计方案 ,为增加等离子体的范围和密度 。

主 题 词：非平衡磁控系统 等离子体 磁控溅射 “遮以阴影” 真空镀膜机 

学科分类：080503[080503] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1006-8341.2002.01.006

馆 藏 号：203848238...