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非平衡磁控系统的“遮以阴影”问题的研究

非平衡磁控系统的“遮以阴影”问题的研究

作     者:何万强 雷旭 

作者机构:西安工业学院科研处陕西西安710032 

出 版 物:《纺织高校基础科学学报》 (Basic Sciences Journal of Textile Universities)

年 卷 期:2002年第15卷第1期

页      码:27-30页

摘      要:鉴于真空镀膜机中 ,非平衡磁场控制溅射系统的“遮以阴影”弊端 ,提出一种对该系统加以完善的原理和设计方案 ,为增加等离子体的范围和密度 。

主 题 词:非平衡磁控系统 等离子体 磁控溅射 “遮以阴影” 真空镀膜机 

学科分类:080503[080503] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0802[工学-机械学] 080201[080201] 

D O I:10.3969/j.issn.1006-8341.2002.01.006

馆 藏 号:203848238...

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