硅微谐振式压力传感器测试方法研究

作     者：邢维巍 江慧婕 樊尚春 

作者机构：北京航空航天太空精密光机电一体化教育部重点实验室北京100191 北京航空航天大学惯性技术国防科技重点实验室北京100191 

出 版 物：《计测技术》 (Metrology & Measurement Technology)

年 卷 期：2012年第32卷第S1期

页      码：30-32页

摘      要：为了解决硅微谐振式传感器输出信号测试设计周期长,费用高;测试过程时间长,误差大的问题引入了了组合是敏感方法和压阻变换的原理。作为测试压力传感器的重要方法,本文介绍了上述方法的相关验证实验,最后针对实验结果做了简要分析。

主 题 词：谐振式 压力传感器 工作原理 

学科分类：08[工学] 080402[080402] 0804[工学-材料学] 

馆 藏 号：203848599...