三自由度精密定位工作台的设计与仿真

作     者：王宏峰 陈道炯 刘巍 WANG Hongfeng;CHEN Daojiong;LIU Wei

作者机构：上海理工大学机械工程学院上海200093 

基　　金：上海市教委重点学科建设基金资助项目(J50503) 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2010年第32卷第5期

页      码：803-806页

摘      要：设计一种以压电陶瓷为驱动,通过柔性机构放大输出位移的精密定位工作台。给出了该精密定位工作台的结构模型,建立了精密定位工作台的位置输入输出方程,分析和计算了柔性铰链微位移放大机构的位移放大倍数。通过仿真确定工作台各自由度的变形量与压电陶瓷驱动器伸缩量之间的关系与运动特性。结果表明,该精密定位工作台能实现定位误差为0.1μm的高精度定位。通过与3点支撑微位移放大机构工作台的比较,显示出4点支撑微位移放大机构工作台可减小交叉耦合的影响。

主 题 词：柔性铰链 微动工作台 压电陶瓷驱动器 微位移放大机构 

学科分类：1002[医学-临床医学类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080203[080203] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0802[工学-机械学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1004-2474.2010.05.026

馆 藏 号：203850341...