Fabry-Parot平面扫描干涉仪和球面扫描干涉仪的设计制造

作     者：王伟祥 徐发忠 李宁 张可非 

作者机构：中国科学院长春光机所 

出 版 物：《四川激光》 (Laser Journal)

年 卷 期：1981年第2卷第A2期

页      码：79-80页

摘      要：平面和球面激光扫描干涉仪包括扫描干涉仪头（光学机械部分），锯齿波信号发生器，光电接收器和放大器。主要机械结构件采用低膨胀系数的因瓦合金，光学件用熔石英，压电扫描元件用PZT压电陶瓷圆筒。F-P镜片的安装采用可折卸式，

主 题 词：扫描干涉仪 设计制造 球面 平面 PZT压电陶瓷 机械部分 信号发生器 光电接收器 低膨胀系数 因瓦合金 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0835[0835] 0803[工学-仪器类] 081202[081202] 0812[工学-测绘类] 

馆 藏 号：203855180...