基于电容检测接口ASIC的闭环微机械加速度计

作     者：刘民杰 刘云峰 董景新 LIU Min-jie;LIU Yun-feng;DONG Jing-xin(State Key Laboratory of Precision Measurement Technology and Instruments;Department of Precision Instrument and Mechanology;Tsinghua University;Beijing 100084;China)

作者机构：清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术及仪器国家重点实验室北京100084 

基　　金：国家十二五预研基金资助项目(51309020301) 中国博士后科学基金资助项目(2011M500291) 

出 版 物：《中国惯性技术学报》 (Journal of Chinese Inertial Technology)

年 卷 期：2012年第20卷第1期

页      码：90-93页

摘      要：对于采用微传感器和接口ASIC两芯片方案来实现的电容式微机械加速度计来说,寄生电容是影响其性能的重要因素之一。采用采样电荷结构,设计实现了电容检测接口ASIC电路,该电路具有对寄生电容不敏感的特点,并在0.35-μm CMOS标准工艺下流片实现。基于流片得到的电容检测ASIC样片,以梳齿式硅微传感器为敏感元件,采用滞后比例积分调节器,通过力平衡反馈方案设计实现了一种闭环微机械加速度计。实验结果表明:该闭环微加速度计的灵敏度为650 mV/g,噪声基底为23.17μg Hz。

主 题 词：微机械加速度计 电容检测 接口专用集成电路 寄生电容 

学科分类：08[工学] 081105[081105] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2012.01.009

馆 藏 号：203857629...