用于硅片检测的精密直线运动平台的设计与实现

作     者：汪家胜 金建新 周振华 姜伟 WANG Jia-sheng;JIN Jian-xin;ZHOU Zhen-hua;JIANG Wei

作者机构：华中科技大学数字制造装备与技术国家重点实验室湖北武汉430074 

出 版 物：《机械制造与自动化》 (Machine Building & Automation)

年 卷 期：2014年第43卷第1期

页      码：23-27页

摘      要：硅片检测过程要求其运动系统具有较高的精度,实现其中的精密直线运动对整个复合运动平台至关重要。采用直线电机驱动的方式设计了一套精密直线运动平台,阐述了其机械系统和控制系统设计过程。实验结果和实际应用表明:本平台比目前采用滚珠丝杠驱动的直线运动平台具有更高的精度、更大的加速度、运行更平稳和更长的寿命等优点,可以完成硅片检测过程要求的运动,运动精度满足了应用场合的要求。

主 题 词：硅片检测 直线电机 精密 运动平台 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-5276.2014.01.007

馆 藏 号：203858445...