MEMS陀螺仪综合测试系统设计与实现

作     者：王甫 高玉霞 鞠莉娜 董冀 赵轶卓 

作者机构：北方通用电子集团有限公司微电子部苏州215163 

出 版 物：《集成电路通讯》 

年 卷 期：2015年第33卷第2期

页      码：1-5,15页

摘      要：针对惯性器件的测试特点，设计了一套完整的MEMS陀螺仪综合测试系统。该测试系统由高性能台式计算机、高精度大量程速率转台、测试专用工装、控制软件等主要部分组成。软件部分开发基于LABVIEW语言，采用模块化与独立化的处理方式，它的功能是控制温箱、控制转台、控制数据采集卡、存储数据、分析数据、出具测试报告。系统的测试过程是在不同外界环境和角速度输入的情况下，记录陀螺仪的输出，并根据测试项目的要求对数据进行分析与计算，得到能够表征陀螺仪性能的各种参数。经实验验证该系统能够在无人值守的情况下完成MEMS陀螺仪的全部零偏与标度因子系列指标，且满足批量测试要求。

主 题 词：MEMS陀螺仪 综合测试 数据采集 性能指标 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 0835[0835] 081002[081002] 

馆 藏 号：203859177...