单晶硅直拉炉用炭/炭埚帮的侵蚀机理探讨

作     者：邢如鹏 姚西明 胡振英 张灵玉 孟凡才 赵俊 XING Ru-peng;YAO Xi-ming;HU Zhen-ying;ZHANG Ling-yu;MENG Fan-cai;ZHAO Junu

作者机构：西安航天复合材料研究所西安超码科技有限公司陕西西安710025 

出 版 物：《炭素》 (Carbon)

年 卷 期：2016年第1期

页      码：43-45,28页

摘      要：埚帮是单晶硅直拉炉中最重要的结构损耗件,随着直拉法热场尺寸的不断增大,主流单晶硅制造企业已经大批量采用炭/炭复合材料埚帮替代石墨埚帮。采用针刺法制备毛坯预制体,经化学气相沉积、树脂浸渍炭化增密和高温纯化处理后制成炭/炭复合材料埚帮。根据热场温度及元素分析炭/炭埚帮侵蚀破坏的机理,对使用后的炭/炭埚帮断口进行观察分析,结合反应机理进而推断影响埚帮使用寿命的主要因素,为提高炭/炭埚帮寿命的设计提供参考。

主 题 词：炭/炭复合材料 埚帮 侵蚀 

学科分类：081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 

D　O　I：10.3969/j.issn1001-8948.2016.01-010

馆 藏 号：203859511...