2019:中国气体

作     者：孙福楠 于大秋 SUN Funan;YU Daqiu

作者机构：中昊光明化工研究设计院有限公司 

出 版 物：《低温与特气》 (Low Temperature and Specialty Gases)

年 卷 期：2019年第37卷第6期

页      码：1-5页

摘      要：回顾了2019年中国气体行业的现状,对于我国各类主要电子气体做了详细的介绍,对未来中国气体产业发展进行了简要预测。

主 题 词：电子气体 标准气体 硅烷 烷类气体 砷烷 磷烷 乙硼烷 DCS 高纯氨气 

学科分类：081702[081702] 08[工学] 0817[工学-轻工类] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-7804.2019.06.001

馆 藏 号：203860945...