深亚微米集成电路制造工艺设计与仿真系统TSUPREM发展与现状

作     者：邢爱堂 靳梅 王冬青 陈景标 

作者机构：山东大学南校区电子工程系山东济南250061 山东大学学术交流中心山东济南250061 山东省烟草局信息科研中心山东济南250100 北京大学电子学系北京100871 

基　　金：教育部高等学校骨干教师资助计划项目 国家自然科学基金资助项目(资助号:19674005) 

出 版 物：《电子元件与材料》 (Electronic Components And Materials)

年 卷 期：2001年第20卷第4期

页      码：33-34页

摘      要：结合集成电路制造工艺仿真系统TSUPREM的发展历史，回顾了集成电路工艺仿真技术的发展，并着重介绍了Avanti公司的深亚微米工艺仿真系统TSUPREM-4 1999.4。

主 题 词：TSUPREM-4 集成电路 制造工艺 工艺仿真 工艺设计 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-2028.2001.04.015

馆 藏 号：203863520...