YAG晶体功能薄膜制备

作     者：陈松林 马平 刘志超 王震 潘峰 吴倩 罗晋 Chen Songlin;Ma Ping;Liu Zhichao;Wang Zheng;Pan Feng;Wu Qian;Luo Jin

作者机构：成都精密光学工程研究中心四川成都610041 

基　　金：国家高技术课题(8042022A) 

出 版 物：《红外与激光工程》 (Infrared and Laser Engineering)

年 卷 期：2012年第41卷第12期

页      码：3318-3322页

摘      要：采用电子束蒸发方法制备Nd:YAG晶体板条功能薄膜,理论设计并镀制具有倏逝膜功能的宽带泵浦光减反膜(808 nm HT)和具有谐波功能的双色膜(808 nm HR,1 064 nm HT)。实验表明:大角度使用条件下的双色膜通带波纹加剧是导致其光谱性能下降的主要原因,同时比较了不同工艺下膜层应力对薄膜开裂的影响,使用应力缓冲层技术抑制了薄膜老化过程中裂纹的形成和扩展。激光损伤测试结果表明双色膜的单脉冲损伤阈值大于5.6 J/cm2(1 064 nm,5 ns,1-on-1),连续激光损伤阈值大于500 kW/cm2(1 064 nm),原子力显微镜分析证实初始损伤源主要来自膜层及其界面的点状吸收缺陷。

主 题 词：薄膜光学 双色膜 薄膜应力 YAG晶体 激光损伤 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1007-2276.2012.12.033

馆 藏 号：203864012...