基于DMD高分辨率激光直写系统设计与实现

作     者：陆亚聪 陈林森 魏国军 邵洁 周小红 LU Ya-cong;CHEN Lin-sen;WEI Guo-jun;SHAO Jie;Zhou Xiao-hong

作者机构：苏州大学信息光学工程研究所江苏苏州215006 

出 版 物：《激光杂志》 (Laser Journal)

年 卷 期：2007年第28卷第6期

页      码：46-47页

摘      要：提出了利用数字微反射镜(DMD)实现高分辨率高速度光刻图像的方法,通过对激光直写系统Holomaker-Ⅲ-B光路的改装,将DMD代替原来的方孔作为光调制器,把DMD上的图像成像在光刻胶板上,得到一个缩小倍率的高质量的任意光斑图形。此系统分辨率能够达到6000DPI,能够制作出高质量的光变图像,例如2D图像,2D/3D图像,3D图像以及各种精密的微刻图像和文字,并给出了实验结果。

主 题 词：激光直写 数字微反射镜 光变图像 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.0253-2743.2007.06.021

馆 藏 号：203871045...