基于MEMS热电堆传感器的高温测量技术

作     者：邹令敏 郝晓剑 周汉昌 

作者机构：中北大学电子测试技术国家重点实验室山西太原030051 

出 版 物：《传感器与微系统》 (Transducer and Microsystem Technologies)

年 卷 期：2009年第28卷第9期

页      码：19-21页

摘      要：为了拓宽MEMS热电堆传感器的温度测量范围，实现高温测量，根据MEMS热电堆传感器的原理，设计完成了A2TPMB34型MEMS热电堆传感器静态与动态标定装置，通过试验得到标定结果；同时，提供了基于MEMS热电堆传感器实现瞬态高温测试的技术方案和实现手段，并对其关键部分一红外衰减片性能进行了分析和讨论。

主 题 词：瞬态高温 MEMS热电堆传感器 静态与动态标定 高温测试系统 红外衰减片 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

馆 藏 号：203871782...