Al/Al_2O_3/Cu测控温薄膜材料的制备

作     者：于佳音 崔新芳 练小正 乔英杰 Yu Jiayin;Cui Xinfang;Lian Xiaozheng;Qiao Yingjie

作者机构：哈尔滨工程大学材料科学与化学工程学院哈尔滨150001 中国航天科工集团第四研究院第四总体设计部北京100039 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60971020) 

出 版 物：《中国科技论文》 (China Sciencepaper)

年 卷 期：2013年第8卷第2期

页      码：128-131页

摘      要：针对液浮陀螺仪悬浮液的应用环境,设计出Al/Al_2O_3/Cu测控温材料。采用阳极氧化的方法在草酸与冰乙酸组成的电解液中制备了阳极氧化膜绝缘层,并采用磁控溅射的方法制备了温度敏感层。利用扫描电镜、原子力显微镜和光学显微镜等研究了阳极氧化膜和铜膜的表面形貌,采用绝缘电阻测试仪测试阳极氧化膜的绝缘性能。结果表明,阳极氧化工艺对阳极氧化膜的绝缘性能以及热处理过程中的开裂行为都有一定影响。电流密度为1.0～1.5 A/dm^2,冰乙酸浓度为0.1～0.3 mol/L,阳极氧化时间在30～60 min条件下制备的氧化膜绝缘性能和抗开裂性能满足Al/Al_2O_3/Cu绝缘层要求。以该氧化膜为衬底制备铜膜刻蚀后可得到连续的电阻条。

主 题 词：陀螺仪 温度传感器 复合薄膜 氧化膜 磁控溅射 

学科分类：08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.2095-2783.2013.02.010

馆 藏 号：203873357...