产生大面积均匀面电子源的电子枪设计

作     者：顾运厅 林焱剑 闫保军 刘术林 杨玉真 余洋 温凯乐 王玉漫 Gu Yunting;Lin Yanjian;Yan Baojun;Liu Shulin;Yang Yuzhen;Yu Yang;Wen Kaile;Wang Yuman

作者机构：广西大学物理科学与工程技术学院南宁530004 中国科学院高能物理研究所核探测与核电子学国家重点实验室北京100049 西安理工大学理学院西安710054 南京大学物理学院南京210093 中国科学院大学北京100049 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(11535014,11675278) 核探测与核电子学国家重点实验室资助项目(SKLPDE-ZZ-201920) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2019年第39卷第12期

页      码：1109-1113页

摘      要：为了满足大尺寸微通道板(MCP)的性能测试和电子清刷除气处理,设计了一种电子枪,可以产生尺寸大、均匀性好、动态范围宽的平面电子源。该电子枪采用功函数较低的钽丝,加工成盘香式结构,通过外加电场,使得出射后打到微通道板输入面上的电子源束流密度可调、均匀性优于90%,12 h内的稳定性优于±0.1μA,动态范围达到7个数量级(10^-12~10^-5 A),可以实现对直径为50 mm的微通道板进行精确测试和严格的电子清刷处理,也可以应用于其它领域。

主 题 词：微通道板 电子枪 电子清刷 热电子发射 直流增益测试 

学科分类：0808[工学-自动化类] 080901[080901] 0809[工学-计算机类] 0817[工学-轻工类] 0806[工学-电气类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjovst.2019.12.11

馆 藏 号：203878602...