InAs/GaAsSb带间级联中波红外焦平面研究

作     者：周易 柴旭良 田源 徐志成 黄敏 许佳佳 黄爱波 白治中 陈红雷 丁瑞军 陈建新 何力 ZHOU Yi;CHAI Xu-Liang;TIAN Yuan;XU Zhi-Cheng;HUANG Min;XU Jia-Jia;HUANG Ai-Bo;BAI Zhi-Zhong;CHEN Hong-Lei;DING Rui-Jun;CHEN Jian-Xin;HE Li

作者机构：中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室上海200083 中国科学院大学北京100049 

基　　金：国家重点研发计划(2016YFB0402403) 国家自然科学基金(61974152,61904183,61534006,61505237,61505235) 中国科学院青年创新促进会会员资助(2016219)~~ 

出 版 物：《红外与毫米波学报》 (Journal of Infrared and Millimeter Waves)

年 卷 期：2019年第38卷第6期

页      码：745-750页

摘      要：针对高工作温度红外探测器的迫切需求,设计并利用分子束外延技术制备了高晶格质量的2级带间级联中波红外探测材料,带间级联单元器件在最高323 K下可以测试到清晰的响应光谱,140 K下暗电流密度达到4×10^-5A/cm^-2.并在此基础上利用干法刻蚀技术实现了320×256规模的台面型带间级联红外焦平面原型器件.焦平面测试结果表明其在80-120K范围内量子效率达到30%,127 K下噪声等效温差为55.1 mK,盲元率为2.3%.采用该焦平面器件在127 K下获得了较为清晰的演示性室温目标红外热成像.

主 题 词：光电探测器 红外焦平面 带间级联结构 高工作温度 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.11972/j.issn.1001-9014.2019.06.011

馆 藏 号：203878729...