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非球面测量系统与数据处理技术研究

非球面测量系统与数据处理技术研究

作     者:范剑红 林金兰 FAN Jian-hong;LIN Jin-lan

作者机构:福建莆田学院电子信息工程系福建莆田351100 

出 版 物:《测控技术》 (Measurement & Control Technology)

年 卷 期:2011年第30卷第12期

页      码:25-28页

摘      要:基于上下位机结构设计光学非球面检验系统,采用工控机作为上位机,下位机由运动控制卡和数据采集卡构成。通过计数器协调运动控制单元和数据采集单元的动作,可实现检测过程坐标的准确定位和高精度的数据采集。对一般非球面方程进行变换后,采用最小二乘拟合算法对数据进行曲面拟合处理。并可适当增加测量点数据来减少测量误差。通过数据实验表明测量系统的拟合精度估计σ<0.05μm,能满足一般光学非球面的精密加工要求。系统采用Matlab进行编程,程序简单,具有较高的可靠性。

主 题 词:非球面 运动控制 数据采集 最小二乘法 曲面拟合 

学科分类:08[工学] 0802[工学-机械学] 0835[0835] 080201[080201] 

D O I:10.3969/j.issn.1000-8829.2011.12.007

馆 藏 号:203879456...

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