半导体分析仪微小电流校准方法研究

作     者：乔玉娥 郑世棋 梁法国 丁立强 QIAO Yu'e;ZHENG Shiqi;LIANG Faguo;DING Liqiang

作者机构：中国电子科技集团公司第十三研究所石家庄050051 

出 版 物：《计算机与数字工程》 (Computer & Digital Engineering)

年 卷 期：2015年第43卷第1期

页      码：17-20,43页

摘      要：半导体分析仪作为目前半导体器件I-V特性曲线的最重要测量仪器,其微小电流低至pA量级,准确度至1%,采用常规直接测量方法无法实现,论文在研究校准方案的基础上,利用"加压测流法"对GΩ量级高值电阻器进行标定,设计与其配套的无源低电流适配器,巧妙利用Guard技术实现对pA、nA量级微小电流的校准。采用"传递比较法"与上级机构对1pA^10nA的微小电流进行验证,试验数据验证了论文校准方案的正确性。论文技术成果已经应用于半导体工艺线源表类测试系统的校准中,值得借鉴推广。

主 题 词：半导体分析仪 适配器 微小电流 高值电阻器 Guard技术 

学科分类：080801[080801] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 

D　O　I：10.3969/j.issn1672-9722.2015.01.006

馆 藏 号：203879634...