用于蒙皮外表面空气流测量的MEMS微型压力传感器

作     者：陈爽 李晓莹 马炳和 苑伟政 CHEN Shuang;LI Xiao-ying;MA Bing-he;YUAN Wei-zheng

作者机构：西北工业大学微/纳米系统实验室西安710072 

基　　金：国家自然基金项目(90305017) 航空科学基金项目(03I53066) 西北工业大学青年创新基金项目资助 

出 版 物：《机械科学与技术》 (Mechanical Science and Technology for Aerospace Engineering)

年 卷 期：2005年第24卷第3期

页      码：312-314,374页

摘      要：为实现飞行器蒙皮外表面空气流的分布式压力检测,设计了基于微机电系统(MEMS)技术的光学压力微型传感器。传感器敏感元件主体结构采用单晶硅的法布里帕罗标准具,并通过光纤与发光二极管和光电探测器等光学元件相连。确定了MEMS微型传感器的关键结构与尺寸,并对压力敏感膜片的变形及反射率等进行了理论计算和行为仿真,结果表明达到预期的设计目标。该传感器具有精度高、抗电磁干扰、尺寸小、耗能低等优点。

主 题 词：微机电系统 微型压力传感器 法布里-帕罗压力传感器 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:1003-8728.2005.03.018

馆 藏 号：203879684...