单模光纤与SOI纳米线波导耦合设计

作     者：曹敏 陈够喜 仝晓刚 Cao Min;Chen Gouxi;Tong Xiaogang

作者机构：中北大学电子与计算机科学技术学院山西太原030051 

基　　金：山西省研究生优秀创新项目(项目编号:20103083)资助 

出 版 物：《电子测试》 (Electronic Test)

年 卷 期：2011年第22卷第3期

页      码：5-10页

摘      要：波导光栅在集成光学发展中扮演着重要的角色。与其他的耦合方法相比,光栅耦合器具有耦合效率高、制备封装成本低、无需芯片端面抛光、可以在任何地方实现信号输入输出等优点,成为纳米光波导最有潜力的耦合方法。本文提出利用OPTIFDTD软件仿真结合MATLAB编程的方法精确计算光栅耦合效率的新方法。仿真分析了光栅的周期、槽深、占空比、SiO2层厚度等光栅参数对耦合效率的影响,并给出了使输入光栅耦合器耦合效率达到42.6%;输出光栅耦合器的耦合效率达到72.3%的一组最佳光栅参数。

主 题 词：集成光学 SOI纳米线波导 光栅耦合器 耦合效率 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 081001[081001] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-8519.2011.03.002

馆 藏 号：203880686...