真空镀膜机双轴磁性液体密封的设计与实验研究

作     者：邢斐斐 李德才 Xing Feifei;Li Decai

作者机构：北京交通大学机械与电子控制工程学院北京100044 

基　　金：北京科委项目(No.Z080003032208017)资助 国家自然科学基金项目(No.50875107)资助 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2011年第31卷第3期

页      码：362-367页

摘      要：为了解决真空镀膜机双轴密封问题,对真空镀膜机双轴采用磁性液体密封,设计了磁性液体密封整体结构、密封极齿和永久磁铁。分析了双轴磁性液体密封的设计。还使用Ansys软件计算了双轴磁性液体密封的磁场分布。在实验上对所设计加工的双轴磁性液体密封进行了实验研究,得出了磁性液体密封耐压能力与加注磁性液体量的关系。

主 题 词：磁性液体 密封 镀膜机 机械设计 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 0817[工学-轻工类] 0806[工学-电气类] 08[工学] 080203[080203] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0802[工学-机械学] 0702[理学-物理学类] 080201[080201] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-7126.2011.03.22

馆 藏 号：203881492...