二维混合结构网格电场数值模拟及其在低能电子枪设计中的应用

作     者：王岩 赵伟霞 邓晨晖 刘俊标 韩立 Wang Yan;Zhao Weixia;Deng Chenhui;Liu Junbiao;Han Li

作者机构：中国科学院电工研究所北京100190 中国科学院大学北京100049 

基　　金：国家科技重大专项(2018ZX02201) 中国科学院科研仪器设备研制项目资助(YJKYYQ20170004) 

出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期：2020年第40卷第1期

页      码：1-6页

摘      要：在半导体行业中,低能电子枪是样品二次发射系数测量和样品表面电荷中和的关键部件。为了给低能电子枪提供设计参考,本文采用二维混合结构网格电场数值模拟计算方法构造了不同结构和栅极电位的电子枪模型,研究了不同模型结构对束斑和束流的影响。结果表明,随着栅极和阳极间距的增大,电子束的放大倍率和束流会降低;随着栅极孔径的增加,电子束的放大倍率会降低,束流会逐渐达到饱和点;随着栅极电位增大,栅极对电子束的会聚作用逐渐减弱,电子束的束流呈上升趋势并最终达到饱和点。

主 题 词：低能电子枪 二次电子发射系数 电荷中和 混合网格 数值模拟 

学科分类：0808[工学-自动化类] 080901[080901] 0809[工学-计算机类] 0817[工学-轻工类] 0806[工学-电气类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.13922/j.cnki.cjovst.2020.01.01

馆 藏 号：203885050...