电场诱导压印模具的套刻制备及其实验

作     者：黎相孟 田洪淼 祝锡晶 LI Xiangmeng;TIAN Hongmiao;ZHU Xijing

作者机构：中北大学机械工程学院先进制造技术山西省重点实验室山西太原030051 西安交通大学机械工程学院机械制造系统工程国家重点实验室陕西西安710049 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51705479) 山西省青年科技研究基金资助项目(201701D001128) 

出 版 物：《电加工与模具》 (Electromachining & Mould)

年 卷 期：2020年第1期

页      码：70-74页

摘      要：电场诱导压印技术的关键在于能实现压印光刻胶的正向复形,对电场诱导模具的制备提出了较大的挑战。提出一种基于光刻、刻蚀和SU-8胶套刻的方法,实现了电场诱导压印模具的制备,通过Comsol仿真分析了电场分布,设计了支架高度与模具微结构高度,展示了几种不同形状、尺寸的模具结构,并对结构进行了表征。基于电场诱导模具搭建了试验平台,并在导电模具和基材之间施加电场,通过SEM观察成形结果得到,该结果与预计的电场诱导压印复制结构相似,验证了电场诱导套刻模具的适用性。

主 题 词：电场诱导 压印模具 紫外光刻 套刻 等离子体刻蚀 

学科分类：080903[080903] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 080502[080502] 

馆 藏 号：203885376...