杠杆耦合式微机械陀螺仪特性分析

作     者：彭世刚 刘海鹏 高世桥 金磊 李泽章 PENG Shigang;LIU Haipeng;GAO Shiqiao;JIN Lei;LI Zezhang

作者机构：北京理工大学爆炸科学与技术国家重点实验室 

出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)

年 卷 期：2020年第42卷第1期

页      码：118-122页

摘      要：基于机械杠杆的位移放大效应,提出了一种具有微杠杆结构的电容检测式微机械陀螺结构,所设计的杠杆放大机构设置在陀螺的检测模态中,通过杠杆将科氏质量块的检测位移放大传递到检测框上,以提升检测位移。建立杠杆结构陀螺的二阶振动微分方程,分析了杠杆结构对微机械陀螺结构静刚度和固有频率的影响,探讨了在不同结构条件下杠杆结构对检测位移的放大效果。通过仿真验证了理论的准确性与可行性,结果表明,在陀螺谐振情况下,可有效增大检测框位移60%以上,提升了检测位移,进而提升检测灵敏度。

主 题 词：微机械陀螺 微杠杆 位移放大 阻尼比 谐振 

学科分类：1002[医学-临床医学类] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 080101[080101] 0702[理学-物理学类] 0801[工学-力学类] 

D　O　I：10.11977/j.issn.1004-2474.2020.01.026

馆 藏 号：203885417...