微结构气体传感器的优化设计

作     者：李春明 张彤 刘丽 徐宝琨 LI Chun-ming;ZHANG Tong;LIU Li;XU Bao-kun

作者机构：吉林大学电子科学与工程学院吉林长春130012 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(60104006) 吉林省科技厅资助项目(20030322) 

出 版 物：《传感器技术》 (Journal of Transducer Technology)

年 卷 期：2005年第24卷第3期

页      码：84-85,88页

摘      要：利用SiO2相对于SiNx有更低的热导率,作为膜式微气体传感器的热绝缘和电绝缘层,而单晶Si适合通过各向异性腐蚀形成倒杯状结构来支撑SiO2膜。将膜式微气体传感器中的加热器和信号电极设计在一个平面上,以减小工艺复杂度,获得较高的加热效率。利用有限元分析工具ANSYS分析比较加热器和信号电极在不同宽度与间距时的温度分布。当设定加热器宽度为50μm,信号电极宽度50μm,加热器和信号电极间距为25μm,微气体传感器将获得更低的功耗和比较均匀的中心温度分布,有利于传感器整体性能的提高。

主 题 词：膜式 气体传感器 有限元分析 功耗 温度分布 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-9787.2005.03.031

馆 藏 号：203885619...