电热激励硅谐振器件的研究

作     者：李炳乾 LI Bing-qian

作者机构：佛山科技学院物理系广东佛山528000 

出 版 物：《半导体光电》 (Semiconductor Optoelectronics)

年 卷 期：2005年第26卷第2期

页      码：105-107页

摘      要：设计了悬臂梁结构电热激励、压阻拾取硅微机械谐振器件,分析了电热激励和压阻拾取的基本工作原理,设计了与Bipolar工艺兼容的器件制作工艺流程,并制作了器件样品。对真空中器件的幅频特性进行了实验研究,研究结果表明,在粗真空范围内,保持激励功率不变的情况下,微悬臂梁的振幅、谐振频率与真空度之间具有明显的依赖关系,可以用来设计、制作MEMS粗真空谐振式传感器。

主 题 词：电热激励 微悬臂梁 谐振器件 

学科分类：080903[080903] 0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1001-5868.2005.02.006

馆 藏 号：203885648...