聚焦离子束研制半导体材料光子晶体

作     者：许兴胜 熊志刚 金爱子 陈弘达 张道中 Xu Xing-Sheng;Xiong Zhi-Gang;Jin Ai-Zi;Chen Hong-Da;Zhang Dao-Zhong

作者机构：中国科学院半导体研究所光电子集成国家重点实验室北京100083 中国科学院物理研究所北京100080 

基　　金：国家自然科学基金(批准号:60345008 60377011 60537010)资助的课题 

出 版 物：《物理学报》 (Acta Physica Sinica)

年 卷 期：2007年第56卷第2期

页      码：916-921页

摘      要：介绍了利用聚焦离子束设备在多种半导体材料上成功研制的近红外波段二维光子晶体,给出了相关微加工结果,发现微加工的尺寸和理论设计尺寸相吻合;测试了所加工的无源光子晶体光子带隙和有源光子晶体的发光谱.实验证明聚焦离子束可以研制二维光子晶体及相关光子晶体器件.

主 题 词：聚焦离子束 半导体材料 光子晶体 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.7498/aps.56.916

馆 藏 号：203886200...