基于频闪法的MEMS动静态测试系统

作     者：王青玲 向东 何开华 吴娟 万淼 WANG Qing-ling;XIANG Dong;HE Kai-hua;WU Juan;WAN Miao

作者机构：中国地质大学地球物理与空间信息学院 中国地质大学数学与物理学院 华中科技大学光电工程系湖北武汉430074 

基　　金：总装备部预研项目 

出 版 物：《光电工程》 (Opto-Electronic Engineering)

年 卷 期：2007年第34卷第2期

页      码：27-31,36页

摘      要：为了对MEMS器件的3D形貌、垂向位移与形变、共振频率等特性进行精确的非接触式的测量,研制了一种基于激光频闪法的MEMS动静态测试系统。该系统以改进了的泰曼干涉仪为核心,采用激光照明,结合五步相移算法,获得MEMS器件静态表面的3D形貌图。使激光频闪的频率与MEMS器件驱动信号源频率一致可以获得相对“冻结”不变的3D形貌。改变频闪激光相对于MEMS器件驱动信号源的相对相位延时,可以获得周期内的MEMS器件离面运动轨迹等参数。本文设计并实现了与该系统配套的数据处理软件。该系统对于离面运动的测量精度可达1nm,最高测试频率可达500kHz。通过对可变形反射镜的测试验证了该系统的可靠性与通用性。

主 题 词：微机电系统 特性测试 频闪成像 相对延时 

学科分类：080901[080901] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0803[工学-仪器类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-501X.2007.02.006

馆 藏 号：203886214...