基于最速下降法的可制造性模型

作     者：胡志卷 杨祎巍 史峥 HU Zhi-juan;YANG Yi-wei;SHI Zheng

作者机构：浙江大学超大规模集成电路设计研究所杭州310027 

出 版 物：《计算机工程》 (Computer Engineering)

年 卷 期：2010年第36卷第20期

页      码：225-228页

摘      要：可制造性设计技术使设计者尽早得到设计版图能否被制造的信息,以减少交流等待的时间。为此,提出一种可制造性模型,用一个或者多个卷积核描述设计版图和轮廓之间的关系,用最速下降法求得,求解过程仅需要输入版图和轮廓对。实验结果表明,该模型能够对设计版图的结果进行较好的预测,与通过光刻模型仿真结果之间的误差在1.8%以内。

主 题 词：可制造性设计 可制造性模型 仿光刻模型 

学科分类：08[工学] 0835[0835] 081202[081202] 0812[工学-测绘类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-3428.2010.20.079

馆 藏 号：203887616...