基于微石英晶振的静电力显微镜的设计

作     者：郭文明 张鸿海 王志勇 汪学方 

作者机构：华中科技大学机械科学与工程学院湖北武汉430074 

基　　金：教育部高等学校博士学科点专项科研基金资助项目 (970 4870 7) 

出 版 物：《武汉理工大学学报（信息与管理工程版）》 (Journal of Wuhan University of Technology：Information & Management Engineering)

年 卷 期：2001年第23卷第4期

页      码：27-29页

摘      要：描述了一种用于检测样品表面电荷分布的静电力显微镜 (EFM)。利用谐振频率为 32 .76 8kHz的未封装微石英晶振作为微力传感器 ,它在逼近试件表面过程中 ,振动特性发生变化。通过检测振动幅值的变化 ,并经过信号处理来获得样品表面电荷分布的信息。在分析了EFM检测原理的基础上 ,设计了EFM系统。

主 题 词：静电力显微镜 微石英晶振 表面电荷分布 谐振频度 微力传感器 检测原理 纳米技术 

学科分类：080802[080802] 0808[工学-自动化类] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 

D　O　I：10.3963/j.issn.1007-144X.2001.04.008

馆 藏 号：203889437...