共沉淀粉末与混合粉烧结ITO靶材的微观组织结构研究（英文）

作     者：马晓波 张维佳 王东新 孙本双 钟景明 Ma Xiaobo;Zhang Weijia;Wang Dongxin;Sun Benshuang;Zhong Jingming

作者机构：北京航空航天大学北京100191 西北稀有金属材料研究院国家钽铌工程技术研究中心宁夏石嘴山753000 

基　　金：National High-Tech Research and Development Program of China "863" Program(2012AA050304) 

出 版 物：《稀有金属材料与工程》 (Rare Metal Materials and Engineering)

年 卷 期：2015年第44卷第12期

页      码：2937-2942页

摘      要：磁控溅射ITO靶材制备ITO透明导电薄膜作为平板显示、太阳能电池、气敏元件等电子器件的电极材料,需要ITO靶材具有高纯度、高均匀性、高密度、高导电性的特点。对比研究了ITO共沉淀粉与In_2O_3、SnO_2单体混合粉同炉烧结ITO靶材的微观组织结构差异,如:晶粒尺寸分布、晶粒形貌、元素分布、烧结速率等。结果表明:单体混合粉的烧结速率要比共沉淀粉的烧结速率高,但是前者烧结ITO靶材的微观组织结构不及后者烧结的均匀性好。对比而言,共沉淀粉更容易获得结构组织均匀的ITO靶材,但前提是要合理的设计烧结工艺抑制烧结过程中In_2O_3的分解。研究结果将会对提高ITO靶材微观组织均匀性和减少靶材毒化,进而提高靶材生产效率提供有益的参考。

主 题 词：ITO靶材 ITO共沉淀粉末 In2O3-SnO2单体混合粉 微观结构 烧结机制 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 0806[工学-电气类] 070205[070205] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0703[理学-化学类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.1016/S1875-5372(16)60026-7

馆 藏 号：203890075...