双测头复合型微纳米测量仪的研制

作     者：吴俊杰 刘俭 魏佳斯 傅云霞 李源 WU Jun-jie;LIU Jian;WEI Jia-si;FU Yun-xia;LI Yuan

作者机构：上海市计量测试技术研究院机械与制造计量技术研究所上海201203 哈尔滨工业大学仪器科学与工程学院黑龙江哈尔滨150001 

基　　金：上海市市场监督管理局科技项目资助(No.2019-02) 上海市青年科技英才扬帆计划资助项目(No.19YF1441700) 上海市质量技术监督局科研项目资助(No.2018-06) 国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.2014YQ090709) 

出 版 物：《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期：2020年第28卷第2期

页      码：415-423页

摘      要：针对当前微纳米测量中存在的大范围高精度测量及复杂微结构几何参数表征难题,基于多测头传感和精密定位平台复用技术,开发了一台具有多种测量尺度和测量模式的复合型微纳米测量仪。为使其具备大范围快速扫描测量和小范围精细测量功能,仪器集成了白光干涉和原子力显微镜两种测头,通过设计适用于两种测头集成的桥架结构及宏/微两级驱动定位平台,实现整机的开发。为保证仪器测量结果的准确性和溯源性,利用标准样板对开发完成的仪器进行了校准。仪器搭载的白光干涉测头可以达到横向500 nm,纵向1 nm的分辨力;原子力显微镜测头横向和纵向分辨力均可达到1 nm。最后,利用目标仪器对微球样品进行了测量,通过大范围成像和小范围精细扫描,获得了微球的表面特征,验证了仪器对复杂微结构的测量能力。

主 题 词：微纳米测量 白光干涉测头 原子力显微镜 多测头技术 精密定位 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0805[工学-能源动力学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3788/OPE.20202802.0415

馆 藏 号：203893463...