光刻物镜高精度挠性结构镜框设计及分析

作     者：华洋洋 巩岩 HUA Yangyang;GONG Yan

作者机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室长春130033 

基　　金：国家重大专项基金资助项目(2009ZX02205) 

出 版 物：《光电工程》 (Opto-Electronic Engineering)

年 卷 期：2013年第40卷第7期

页      码：39-43页

摘      要：光刻投影物镜的透镜支撑形式决定透镜的面形精度,进而影响光学系统的成像质量。本设计为实现透镜面形精度优于5nm的RMS值,提出一种三点挠性主支撑和六点弹片辅助支撑的支撑形式。综合考虑透镜自重、夹持力和热载荷对透镜面形影响,对支撑结构进行优化设计,并进行了仿真分析。仿真后的面形结果为:上表面面形PV21.7nm,RMS4.49nm;下表面面形PV81.3nm,RMS3.63nm。仿真结果显示:该种透镜的支撑结构可以满足光刻投影物镜的高精度面形指标要求。

主 题 词：光学器件 光刻投影物镜 支撑结构 结构优化 有限元 

学科分类：0808[工学-自动化类] 0809[工学-计算机类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1003-501x.2013.07.007

馆 藏 号：203894404...