软X射线多层膜与衰减膜研究

作     者：王占山 吴永刚 唐伟星 秦树基 周斌 陈玲燕 

作者机构：同济大学物理系上海200092 

基　　金：国家自然科学基金资助课题 (697780 2 6) 国家 863激光技术领域资助课题 (863 -4 10 -3 ) 

出 版 物：《强激光与粒子束》 (High Power Laser and Particle Beams)

年 卷 期：2002年第14卷第3期

页      码：385-388页

摘      要：采用随机数的方法 ,发展了一种普适的多层膜设计方法 ,这种方法除可设计一般的周期多层膜 ,更重要的是它可以根据选定的评价因子 ,设计不同要求的非周期多层膜。用磁控溅射方法完成软 X射线多层膜制备 ,X射线衍射、卢瑟福背散射、俄歇电子谱和反射率的相对测试用来表征多层膜结构和特性 ,所得结果说明多层膜的结构完整 ,周期参数正确。用离子束溅射方法成功地制备了有一定反射率和透过率的软 X射线半反半透分束镜 ;分析了 Ag和 Zr衰减膜中的杂质含量与分布及其对衰减膜特性的影响 ,并对衰减系数进行了修正 ,为实验提供优质的衰减膜。

主 题 词：软X射线 多层膜 衰减膜 随机数 设计方法 制备方法 

学科分类：0808[工学-自动化类] 070207[070207] 0809[工学-计算机类] 07[理学] 08[工学] 080501[080501] 0805[工学-能源动力学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

馆 藏 号：203895527...