基于端面耦合的InP基激光器/硅光波导混合集成技术研究

作     者：王艳 王东辰 徐鹏霄 唐光华 尤国庆 孔月婵 WANG Yan;WANG Dongchen;XU Pengxiao;TANG Guanghua;YOU Guoqing;KONG Yuechan

作者机构：微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室南京210016 中国电子科技集团公司第五十五研究所南京210016 

出 版 物：《光电子技术》 (Optoelectronic Technology)

年 卷 期：2020年第40卷第1期

页      码：13-18页

摘      要：针对硅光子集成回路缺少实用化光源的问题,提出了一种1.55μm波段InP基FP激光器芯片、InP基PIN光电探测器芯片与硅光波导芯片集成模块的设计与制备方法。使用CMOS工艺兼容的硅光无源器件制备工艺,设计并制备了倒拉锥型端面耦合器,与锥形透镜光纤耦合效率为36.7%。采用微组装对准技术将激光器芯片与硅波导芯片耦合、UV固化胶固化后耦合效率为35.8%,1 dB耦合对准容差横向为1.2μm,纵向为0.95μm。

主 题 词：InP基激光器 硅光波导 端面耦合 混合集成 

学科分类：070207[070207] 07[理学] 08[工学] 0803[工学-仪器类] 0702[理学-物理学类] 

D　O　I：10.19453/j.cnki.1005-488x.2020.01.003

馆 藏 号：203898295...