多层介质膜脉宽压缩光栅的严格矢量分析

作     者：刘世杰 孔伟金 沈自才 邵建达 贺洪波 范正修 Liu Shijie;Kong Weijing;Shen Zicai;Shao Jianda;He Hongbo;Fan Zhengxiu

作者机构：中国科学院上海光学精密机械研究所 

基　　金：国家自然科学基金(10376040)资助课题 

出 版 物：《光学学报》 (Acta Optica Sinica)

年 卷 期：2006年第26卷第5期

页      码：652-656页

摘      要：用于展宽和压缩激光脉冲的多层膜脉宽压缩光栅是由多层介质高反膜和位于其顶层的浮雕光栅构成。以设计的高反射多层膜为基础,利用傅里叶模式理论分析了其衍射场分布,给出了TE波自准直角入射的使用条件下,多层介质膜脉宽压缩光栅衍射效率的表达式。以-1级衍射效率为评价函数,分别讨论了HfO2和SiO2为顶层材料时,多层膜脉宽压缩光栅-1级衍射效率高于0.95的光栅结构参量范围。结果表明,在该条件下,选择HfO2为顶层材料时,光栅结构参量有较大的取值范围。给出了优化的光栅结构参量,并分析了光栅制作误差及其使用条件的宽容度,对光栅制作工艺和使用具有一定的指导意义。

主 题 词：光栅 衍射 模式理论 多层介质膜 衍射效率 自准直角 

学科分类：07[理学] 0702[理学-物理学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3321/j.issn:0253-2239.2006.05.003

馆 藏 号：203901319...