在线检测与分析快速发现不可见的电学缺陷

作     者：Michael Schmidt Hyoung Kang Larry Dworkin Kenneth Harris Sherry Lee 

作者机构：FEI Co. PDF Solutions 

出 版 物：《集成电路应用》 (Application of IC)

年 卷 期：2007年第24卷第11期

页      码：42-44页

摘      要：在Fab里,在经过特别设计的短流程测试晶圆上进行的快速电学测试和自动FIB/SEM缺陷分析可以将不可见缺陷探测与分析的时间降低一个数量级,并且对不同的设计参数非常敏感,因而有足够的样本来做重要的统计评估。

主 题 词：缺陷探测 在线检测 电学 设计参数 缺陷分析 统计评估 Fab 数量级 

学科分类：0810[工学-土木类] 08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 0835[0835] 0803[工学-仪器类] 081002[081002] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1674-2583.2007.11.017

馆 藏 号：203901821...