泰曼—电视—微机系统非球面面形测试

作     者：王文生 

作者机构：长春光学精密机械学院光电工程系 

出 版 物：《长春光学精密机械学院学报》 (Journal of Changchun Institute of Optics and Fine Mechanics)

年 卷 期：1997年第20卷第4期

页      码：21-24页

摘      要：本文用He－Ne激光器作光源，由泰曼—格林干涉仪，电视摄相机和微机组成泰曼—电视—微机系统，利用法线象差补偿法检测非球面的原理，根据三个干涉留法，自动地扫描，分析了非球面，其二维等高线和三维面形在计算机监示器上画出。并设计了准万能补偿器以扩大其检测范围，可用于检测一定范围的抛物面，椭圆面和双曲面。补偿精度高于0．01λ。

主 题 词：非球面 干涉仪 摄相机 补偿 光学表面 面形测试 

学科分类：08[工学] 0803[工学-仪器类] 

馆 藏 号：203902045...