BCB/SiO_2双导芯层叠ARROW结构压力传感器设计

作     者：禹忠 李蓉 王海容 蒋庄德 

作者机构：西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室西安710049 西安机电信息研究所西安710065 

基　　金：国家高技术研究发展(863)计划资助项目(2009AA04Z330) 国家自然科学基金资助项目(50535030) 

出 版 物：《微纳电子技术》 (Micronanoelectronic Technology)

年 卷 期：2010年第47卷第4期

页      码：237-241页

摘      要：针对传统ARROW压力传感器耦合长度长以及耦合效率低,提出了BCB/SiO2双导芯层叠ARROW结构压力传感器。在外力作用下,弹性薄膜上的BCB/SiO2双导芯层叠ARROW结构,会因光弹效应致使BCB和SiO2两个导芯折射率变化产生输出相位差。通过有限元方法(FEM)研究硅弹性薄膜上导芯折射率的变化与应力分布关系,确定传感器的结构设计参数。使用束传播法(BPM)分析耦合结构以及压力与输出之间的关系。结果表明,该传感器无需弯曲波导即可降低器件尺寸,并实现了灵敏度为5.2×10-2/kPa压力检测。

主 题 词：抗共振反射光波导 压力传感器 有限元方法 束传播法 光弹性效应 

学科分类：080202[080202] 08[工学] 0802[工学-机械学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1671-4776.2010.04.009

馆 藏 号：203902732...