平面反射镜光学薄膜的制备

作     者：王保松 刘军成 陈静 WANG Bao-song;LIU Jun-cheng;CHEN Jing

作者机构：江苏金陵机械制造总厂江苏南京211100 

出 版 物：《光电技术应用》 (Electro-Optic Technology Application)

年 卷 期：2010年第25卷第6期

页      码：22-24页

摘      要：以薄膜原理为基础,通过Essential Macleod软件进行膜系设计.采用电子束加热蒸发的镀膜方式,利用设计工装制备了介质ZrO2-SiO2高反射膜层和金属铝反射膜层.介质高反膜层在1.064μm波长处的反射率达到95%,金属铝反射膜层的在3μm～5μm波段内的平均反射率超过95%.膜层的技术指标和环境适应性能具有优质的质量.

主 题 词：平面反射镜 光学薄膜 反射率 

学科分类：08[工学] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1673-1255.2010.06.007

馆 藏 号：203903120...