静电梳微谐振子结构中的静力学问题

作     者：宋晓珏 陈晓阳 丁晓红 Song Xiaojue;Chen Xiaoyang;Ding Xiaohong

作者机构：上海大学上海200072 苏州大学 

基　　金：上海市教委重点学科科研项目!(970104)资助 

出 版 物：《机械设计与研究》 (Machine Design And Research)

年 卷 期：2000年第16卷第1期

页      码：52-54页

摘      要：本文针对微机械领域中常用的静电梳微谐振子中存在的静力学问题 ,对其悬臂梁的两种结构——蟹脚型结构和直脚型结构的受力情况作了分析 ,推导出应力和位移的计算方法 ,并对蟹脚型结构的设计进行了优化 ,和国外文献进行了相比 。

主 题 词：静电梳微谐振子 蟹脚结构 直脚结构 静力学 

学科分类：08[工学] 080203[080203] 0802[工学-机械学] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1006-2343.2000.01.019

馆 藏 号：203903817...