一种电容式高量程微机械加速度计的设计分析

作     者：陶永康 刘云峰 董景新 TAO Yong-kang;LIU Yun-feng;DONG Jing-xin

作者机构：清华大学精密仪器系北京100084 

出 版 物：《兵工学报》 (Acta Armamentarii)

年 卷 期：2014年第35卷第11期

页      码：1860-1866页

摘      要：针对特殊场合的高g值加速度测试需求,提出了一种叉齿电容式高量程微机械加速度计的结构形式,采用面内敏感的变面积差动电容变化方式,并针对传感器固有频率、横向效应、量程和加速度灵敏度进行了设计分析。仿真结果表明：该加速度计量程200 000 g,固有频率266.2 k Hz,模态分离比大于2.5,0~10 k Hz通频带内加速度分辨率优于60 g.基于硅-玻璃微机械工艺进行了加速度计微结构的流片加工、镜检测试和传感器的初步冲击实验验证。相比已有的高量程微机械加速度计,该设计具有线性度好、横向效应小、加速度灵敏度高和抗高过载能力强等特点。

主 题 词：电子技术 高g值加速度计 电容式微机械加速度计 微机电系统 仿真设计 

学科分类：08[工学] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 0802[工学-机械学] 081102[081102] 0811[工学-水利类] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1000-1093.2014.11.018

馆 藏 号：203904993...