半导体企业MES的设计与实现

作     者：李贺明 卫小松 LI He-ming;WEI Xiao-song

作者机构：西安邮电大学通信与信息工程学院西安710000 西安电子科技大学微电子学院西安710126 

出 版 物：《制造业自动化》 (Manufacturing Automation)

年 卷 期：2015年第37卷第24期

页      码：4-6,22页

摘      要：针对半导体制造业的行业特点,在.Net环境下,设计了高效、敏捷的半导体MES(制造执行系统),MES能够将实际生产过程与数据信息化结合起来,实时监控和管理生产现场。通过对C/S结构模式、Web Service分布式技术、事件服务以及***数据库访问技术等关键技术的研究,建立了执行系统的体系结构。根据半导体的生产特点,最后介绍了半导体MES应用中的主要功能模块。

主 题 词：半导体 制造执行系统 MES *** 

学科分类：0711[理学-心理学类] 07[理学] 08[工学] 081104[081104] 0811[工学-水利类] 071102[071102] 081103[081103] 

D　O　I：10.3969/j.issn.1009-0134.2015.24.02

馆 藏 号：203905417...