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用于中子管的微波离子源放电特性的仿真研究

用于中子管的微波离子源放电特性的仿真研究

作     者:金明远 曲婉菊 赵辰一 乔双 Jin Mingyuan;Qu Wanjv;Zhao Chenyi;Qiao Shuang

作者机构:东北师范大学物理学院长春130024 

基  金:国家自然科学基金资助项目(11275046) 国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(2013YQ040861) 电子元器件可靠性物理及其应用技术重点实验室开放基金资助项目(ZHD201701) 吉林省科技厅优秀青年人才基金项目(20190103010JH) 吉林省教育厅“十三五”科学技术研究规划项目(JJKH20190277KJ) 中国博士后科学基金面上项目(2018M641759) 

出 版 物:《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)

年 卷 期:2020年第40卷第3期

页      码:245-249页

摘      要:微波离子源作为一种无阴极离子源,与潘宁离子源相比具有电离度高、形成的等离子体密度高、寿命长等优点。为了深入了解用于中子管微波离子源的放电特性,根据微波离子源的放电原理,设计中子管微波离子源的几何结构和所需磁铁的结构。结合Comsol多物理场仿真软件中的二维轴对称的AC/DC模块和微波等离子体模块,采用控制变量法,通过仿真实验探究了放电气压、微波输入功率、放电腔室大小以及放电腔室外壁材料对电子密度的影响,总结了电子密度在不同参数下的规律,将为中子管微波离子源的实验和设计提供重要支撑。

主 题 词:中子管 微波离子源 电子密度 仿真模拟 

学科分类:0810[工学-土木类] 08[工学] 081001[081001] 

D O I:10.13922/j.cnki.cjovst.2020.03.11

馆 藏 号:203906118...

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