双面PERC太阳电池背面效率及双面率优化工艺

作     者：孙晓凯 田凤美 靳迎松 张福庆 胡明强 Sun Xiaokai;Tian Fengmei;Jin Yingsong;Zhang Fuqing;Hu Mingqiang

作者机构：晶澳太阳能有限公司河北邢台055550 

出 版 物：《半导体技术》 (Semiconductor Technology)

年 卷 期：2020年第45卷第4期

页      码：312-316页

摘      要：基于钝化发射极和背面接触(PERC)太阳电池工艺,对选择性发射极晶体硅双面PERC太阳电池背面效率及双面率优化进行了研究。采用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备,制备了背面为AlOx/SiNx钝化膜层的双面PERC太阳电池。提出了几种不同背面钝化膜层的设计方案,分析了不同设计方案对双面PERC太阳电池背面效率及双面率的影响。测试结果表明,采用背面AlOx/SiNx叠层钝化膜、SiNx双层减反射膜、较大折射率梯度SiN_x膜层、较薄AlOx膜层及较薄SiNx膜层工艺,对提升双面PERC太阳电池背面效率及电池双面率效果显著,用最优设计方案制备的双面PERC太阳电池,其背面效率和双面率分别为14.96%和68.69%。

主 题 词：双面钝化发射极和背面接触(PERC)太阳电池 背面效率 双面率 背钝化 双面减反射膜 

学科分类：08[工学] 080502[080502] 0805[工学-能源动力学] 

D　O　I：10.13290/j.cnki.bdtjs.2020.04.011

馆 藏 号：203906193...