成果简介:高性能MEMS器件设计与制造关键技术及应用

作     者：黄庆安 

作者机构：东南大学MEMS教育部重点实验室南京210096 

出 版 物：《电子学报》 (Acta Electronica Sinica)

年 卷 期：2020年第48卷第2期

页      码：F0004-F0004页

摘      要：MEMS(微机电系统)技术是新兴的高新技术,有极强的应用渗透力,已在智能电子、汽车、工业、航空航天等领域广泛应用,并成为战略性新兴产业物联网的核心技术。在国家863计划等持续支持下,东南大学、江苏英特神斯科技有限公司、无锡华润上华科技有限公司以产学研合作方式,深入、细致、系统地研发了MEMS设计与制造共性关键技术,使我国MEMS产业迈入规模化生产阶段。

主 题 词：战略性新兴产业 共性关键技术 产学研合作 MEMS器件 成果简介 航空航天 渗透力 MEMS设计 

学科分类：0202[经济学-财政学类] 02[经济学] 020205[020205] 

核心收录：

馆 藏 号：203906500...