基于显微图像处理的MEMS运动测量方法

作     者：赵新 郭春艳 张玮光 孙明竹 卢桂章 ZHAO Xin;GUO Chun-yan;ZHANG Wei-guang;SUN Ming-zhu;LU Gui-zhang

作者机构：南开大学机器人与信息自动化研究所天津300071 

基　　金：国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2009AA043703) 国家自然科学基金资助项目(60875059 91023045) 

出 版 物：《纳米技术与精密工程》 (Nanotechnology and Precision Engineering)

年 卷 期：2012年第10卷第1期

页      码：1-5页

摘      要：为实现对MEMS的高精度运动测量,采用了基于显微图像处理的运动测量方法.在该方法中,针对特定的MEMS器件,首先将其放置在显微镜下摄取其可动部位的运动录像,由运动录像获取显微图像序列;然后针对MEMS自身结构的特点,设计有效的显微图像处理方法提取其运动位移,由位移最终获取MEMS器件的运动轨迹.基于上述方法,以微加速度计为例,根据其结构和运动特点,提出一种具有亚像素级精度的像素平移法提取其运动位移,将稳态位移的检测结果与理论值对比,得到检测结果为理论值的90.21%.检测结果与理论值良好的一致性,初步验证了方法的有效性.

主 题 词：MEMS 亚像素 运动测量 

学科分类：0817[工学-轻工类] 08[工学] 0807[工学-电子信息类] 080401[080401] 0804[工学-材料学] 080402[080402] 0802[工学-机械学] 0703[理学-化学类] 0811[工学-水利类] 0801[工学-力学类] 

核心收录：

D　O　I：10.3969/j.issn.1672-6030.2012.01.001

馆 藏 号：203910851...